電阻溫度系數(shù)可以作為一個金屬互連層可靠性監(jiān)測的早期參數(shù)，對工藝發(fā)展、產(chǎn)品驗證以及在線監(jiān)測進行早期預(yù)測。電阻溫度系數(shù)是一個與金屬的微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)的一個參數(shù)，在沒有任何缺陷的情況下，它具有理論上的值。實際的金屬由于工藝的影響，造成它的晶格結(jié)構(gòu)不再完整，電子在它們上面的散射形成的電阻率是一個與溫度無關(guān)的量。

電阻溫度系數(shù)（TemperatureCoefficientofResistance）作為一個反映電阻隨溫度變化的參數(shù)在金屬互連線的可靠性測試中被廣泛使用。對電阻溫度系數(shù)的內(nèi)在含義進行了詳細的闡述，指出電阻溫度系數(shù)的大小與金屬互連層的微觀結(jié)構(gòu)相關(guān)，與電遷移測試的結(jié)果具有較強的相關(guān)性。電阻溫度系數(shù)可以作為一個金屬互連層可靠性監(jiān)測的早期參數(shù)，對工藝發(fā)展、產(chǎn)品驗證以及在線監(jiān)測進行早期預(yù)測。

電阻溫度系數(shù)（temperaturecoefficientofresistance簡稱TCR）表示電阻當溫度改變1攝氏度時，電阻值的相對變化，單位為ppm/℃。有負溫度系數(shù)、正溫度系數(shù)及在某一特定溫度下電阻只會發(fā)生突變的臨界溫度系數(shù)。紫銅的電阻溫度系數(shù)為1/234.5℃。電阻溫度系數(shù)是一個與金屬的微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)的一個參數(shù)，在沒有任何缺陷的情況下，它具有理論上的最大值。也就是說，電阻溫度系數(shù)本身的大小在一定程度上表征了金屬工藝的性能。在新技術(shù)工藝的研發(fā)過程或在線監(jiān)測中，我們可以利用電阻溫度系數(shù)對金屬的可靠性進行早期監(jiān)測與快速評估。

在半導(dǎo)體中，金屬互連層（鋁或銅）的阻值在常溫附近的范圍內(nèi)與它的溫度具有線性關(guān)系，這也是半導(dǎo)體測試中金屬互連線經(jīng)常被用來作為溫度傳感器的原因。半導(dǎo)體中用電阻溫度系數(shù)來表征金屬的阻值和它的溫度之間的關(guān)系。電阻溫度系數(shù)表示單位溫度改變時，電阻值（電阻率）的相對變化。

電阻溫度系數(shù)并不恒定而是一個隨著溫度而變化的值。隨著溫度的增加，電阻溫度系數(shù)變小。因此，我們所說的電阻溫度系數(shù)都是針對特定的溫度的。

對于一個具有純粹的晶體結(jié)構(gòu)的理想金屬來說，它的電阻率來自于電子在晶格結(jié)構(gòu)中的散射，與溫度具有很強的相關(guān)性。實際的金屬由于工藝的影響，造成它的晶格結(jié)構(gòu)不再完整，電子在它們上面的散射形成的電阻率是一個與溫度無關(guān)的量。因此，實際的金屬電阻率是由相互獨立的兩部分組成。

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